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沈天慧
2011-07-04


?????? 沈天慧,半导体化学家,中国科学院院士。沈天慧是上海交通大学信息存储研究中心研究员、上海交通大学学术委员会委员、上海交通大学材料与化工研究院顾问、微纳科学技术研究院研究员、微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任。

沈天慧主要致力于分析化学、半导体化学方面的研究工作,曾参加过硫酸根的测定、包头含稀土铁矿的全分析、钼矿的全分析、地下水的全分析等项科学研究。70年代初开始从事大规模集成电路的研究工作。 曾采用三氯氢硅法制备超纯硅,进行了磁叠片存储器、玻璃半导体记忆材料等研究,取得了成果。参与了等平面N沟硅栅工艺制备MOS大规模集成电路的研究,特别是薄氧化层的研究,为超大规模集成电路的制备作出了贡献。沈天慧从苏联回中国后开展用三氯氢硅法制纯硅的研究工作。 1966--1986年从事半导体材料及大规模集成电路的研制。 1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺研制出大规模集成电路数种,当时在中国国内处于领先地位。从事超大规模集成电路工艺——光化学气相淀积氮化硅的研究及其在集成电路上的应用,化学镀镍磷——磁表面保护故铁硼的研究,继续作出贡献。1987年到2009年1月注重磁头磁盘的研制工作。沈天慧从事的磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,能制出具有国际水平的直径为

(来源:百度百科)




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