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刘明
2019-07-10

刘明,女,微电子科学与技术专家,中国科学院微电子研究所研究员。1964年4月生于江西丰城市,籍贯安徽宿州。1985年毕业于合肥工业大学,1988年获该校硕士学位,1998年于北京航空航天大学获博士学位。

长期从事半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究。阐明了阻变存储器机理,建立了相应的物理模型;提出了功能层掺杂和局域电场增强的阻变存储器性能调控方法,提高存储器整体性能。拓展了新型闪存材料和结构体系,提出新的可靠性表征技术、失效模型和物理机理。发展了集成电路的微纳加工技术并拓展到禁运的短波衍射元件研制中。曾获国家技术发明二等奖3项、国家科技进步二等奖1项、中国真空科技成就奖和科学院杰出成就奖等奖项。

截至2017年7月,刘明发表SCI收录论文250多篇,SCI他引超过2800次,6篇论文入选ESI高被引论文榜,两项工作列入2013年ITRS(国际半导体发展路线图)、多项工作作为典型进展被写入15本着作和40篇综述中。授权发明专利180件(含美国授权专利7件),主要专利转让/许可到多家重要集成电路企业。

2015年当选中国科学院院士。

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